व्हॅक्यूम पद्धतीमध्ये वायू वातावरणाच्या बाजूने बाहेर काढलेल्या नमुन्याच्या भिंतीवर उडवला जातो. हे लीकच्या वेळी नमुन्यात प्रवेश करते आणि लीक डिटेक्टरला दिले जाते. नमुना व्हॅक्यूम प्रेशर-प्रूफ असणे आवश्यक आहे. GROSS -FINE — ULTRA च्या संवेदनशीलतेचे टप्पे पार केले जातात. शोधण्याची मर्यादा शिंकण्याच्या पद्धतीपेक्षा कमी आहे. गळतीचे प्रमाण निर्धारित करण्यासाठी गळतीमध्ये हीलियमची एकाग्रता माहित असणे आवश्यक आहे. समतोल स्थितीची प्रतीक्षा करणे आवश्यक आहे.